Die Mikrosystemtechnik (MST, engl. micro systems technology), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.

In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen. Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik und die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen). Integration zu einem System erfolgt sowohl als diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.

Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Elektrotechnik, Verkehrstechnik und Medizintechnik. Des Weiteren werden bereits bestehende Methoden aus anderen Bereichen (Informatik, Biotechnologie und Nanotechnologie) aufgenommen und zu neuen Systemen kombiniert. Die Abmessungen der funktionsbestimmenden Strukturen liegen im Mikrometerbereich, was als Abgrenzung zur Nanotechnologie herangezogen wird.

Ein Randbereich der MST ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.

Quelle: Wikipedia

  • Studienfeld(er)
    Mikrosystemtechnik
  • Schwerpunkt(e)
    Mikrotechnologie; Optoelektronik
Zugangsbedingungen
  • Meisterprüfung und/oder gleichwertige berufliche Aufstiegsfortbildung
    • einem Beratungsgespräch an der Hochschule
  • Mehrjährige Berufsausbildung und/oder Berufserfahrung mit fachlicher Nähe zum Studienfach
    • einem Beratungsgespräch an der Hochschule
    • einem Probestudium
Vorbereitende Kursangebote
Ja
Vorbereitungskurse Mathematik. Dieser richtet sich an künftige, beruflich qualifizierte Teilnehmer*innen technischer Studiengänge.
Internetseite
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  • Vorlesungszeit
    01.10.2021 - 14.03.2022
    Bitte ersehen Sie die Vorlesungszeit des Wintersemesters 2021 unter http://www.oth-regensburg.de/hochschule/termine-und-oeffnungszeiten.html.
  • Bewerbungsfrist für Fächer mit Zulassungsbeschränkung
    01.05.2021 - 31.07.2021
  • Anmeldefrist für Fächer ohne Zulassungsbeschränkung
    01.05.2021 - 31.07.2021
  • Bewerbungsfrist für EU-Ausländer
    01.05.2021 - 31.07.2021
  • Bewerbungsfrist für Nicht-EU-Ausländer
    01.05.2021 - 31.07.2021
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    Stand: 17.04.2021
Eugen Theurer
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